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#jok479

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Datum/Zeit
Date(s) — 28. Januar 2020
17:00 – 19:00

Ver­an­stal­tungs­ort
Abbe Cen­ter of Pho­to­nics

Thema

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Seit Mai 2018 fin­det das tra­di­tio­nelle JENAer Carl-Zeiss-Optik­kol­lo­quium als JENAer Optik­kol­lo­quium am Abbe Cen­ter of Pho­to­nics auf dem Beu­ten­berg Cam­pus Jena statt. Es ist offen für alle Inter­es­sier­ten aus For­schung, Wirt­schaft und Bil­dung und ver­steht sich als Forum für neue Tech­no­lo­gien rund um die Pho­to­nik.

VORTRAG

Kohärenztomografie mit extrem ultravioletter Strahlung – Zerstörungsfreie Querschnittsbildgebung mit nano-skaliger Auflösung

Dr. Sil­vio Fuchs » Fried­rich-Schil­ler-Uni­ver­si­tät Jena, Helm­holtz-Insti­tut Jena

Zum Thema › Mikro­sko­pie im soge­nann­ten extre­men ultra­vio­let­ten Spek­tral­be­reich (XUV) erreicht dank der kur­zen Wel­len­länge Auf­lö­sun­gen im Nano­me­ter­be­reich. Zudem kann ein ein­zig­ar­ti­ger ele­ment­spe­zi­fi­scher Absorp­ti­ons­kon­trast genutzt wer­den, da die Strah­lung mit den Inner­scha­len­elek­tro­nen der Pro­ben­ma­te­ria­lien wech­sel­wirkt. Auf­grund der hohen Absorp­tion ist es jedoch tech­nisch sehr her­aus­for­dernd, Objek­tive mit gro­ßer nume­ri­scher Aper­tur im XUV-Bereich her­zu­stel­len. Es müs­sen also Wege gefun­den wer­den, wie man trotz klei­ner ver­füg­ba­rer nume­ri­scher Aper­tur den­noch eine hohe Auf­lö­sung errei­chen kann.
Im Vor­trag wird ein im XUV-Bereich neu­ar­ti­ges, drei­di­men­sio­na­les Abbil­dungs­ver­fah­ren vor­ge­stellt, des­sen axiale (in die Tiefe) Auf­lö­sung nicht von der Fokus­sie­rung, son­dern von den spek­tra­len Eigen­schaf­ten der Strah­lungs­quelle abhängt. Dazu wurde die im opti­schen Bereich bekannte und heut­zu­tage in der Augen­heil­kunde weit ver­brei­tete Methode der opti­schen Kohä­renz­to­mo­gra­phie (OCT) in den XUV-Bereich über­tra­gen und wei­ter­ent­wi­ckelt. Die XCT genannte Methode erreicht axiale Auf­lö­sun­gen von weni­gen Nano­me­tern und ist in der Lage, zer­stö­rungs­freie Quer­schnitts­bil­der, bei­spiels­weise von inte­grier­ten Halb­lei­ter­struk­tu­ren in Sili­zium, abzu­bil­den. Auch kön­nen zusätz­lich zur Struk­tur quan­ti­ta­tive Infor­ma­tio­nen aus den Mes­sun­gen gewon­nen wer­den, die eine Mate­ria­li­den­ti­fi­ka­tion ermög­li­chen. Als XUV-Strah­lungs­quelle wer­den hohe Har­mo­ni­sche von ultra­kur­zen infra­ro­ten Laser­pul­sen (HHG) ein­ge­setzt. Dies ermög­licht einen labor­ba­sier­ten Auf­bau und damit Unab­hän­gig­keit von typi­scher­weise in der XUV-Mikro­sko­pie ver­wen­de­ten Syn­chro­tron­strah­lungs­quel­len (Groß­for­schungs­ein­rich­tun­gen). Im Gegen­satz zur axia­len Auf­lö­sung ist die late­rale Auf­lö­sung des Ver­fah­rens noch durch die fokus­sie­rende Optik begrenzt. Dies soll in Zukunft durch eine Kom­bi­na­tion von XCT mit lin­sen­freien Abbil­dungs­ver­fah­ren wie der Beu­gungs­bild­ge­bung (CDI bzw. Pty­cho­gra­phie) erreicht wer­den.

Zum Refe­rent › Dr. Sil­vio Fuchs stu­dierte und pro­mo­vierte in Phy­sik an der Fried­rich-Schil­ler-Uni­ver­si­tät Jena. Er beschäf­tigte sich zunächst mit der laser­ba­sier­ten Erzeu­gung von XUV-Strah­lung an rela­ti­vis­tisch beweg­ten Ober­flä­chen und in Gasen. Auf­bau­end auf die­sen Grund­la­gen wandte er sich dann der Bild­ge­bung mit die­sen Strah­lungs­quel­len zu und ent­wi­ckelte die Methode der Kohä­renz­to­mo­gra­phie im EUV-Bereich (XCT). Momen­tan arbei­tet er als Post-Doc am Helm­holtz-Insti­tut Jena und koor­di­niert ein For­schungs­team, wel­ches ver­schie­dene Bild­ge­bungs­me­tho­den im XUV- aber auch im wei­chen Rönt­gen­be­reich ent­wi­ckelt, bzw. inso­fern wei­ter­ent­wi­ckelt, dass die Metho­den zusätz­lich um eine Zeit­auf­lö­sung im Femto- bis hin zum Atto­se­kun­den­be­reich erwei­tert wird.

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Das JENAer Optik­kol­lo­quium wird unter­stützt von: Carl Zeiss AG, Ernst-Abbe-Hoch­schule Jena, Fraun­ho­fer-Insti­tut für Ange­wandte Optik und Fein­me­cha­nik, Fried­rich-Schil­ler-Uni­ver­si­tät Jena, JENOPTIK AG, Leib­niz-Insti­tut für Pho­to­ni­sche Tech­no­lo­gien e.V. Ver­an­stal­ter ist Opto­Net e.V.

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Anfahrt & Park­mög­lich­kei­ten

Am Beu­ten­berg Cam­pus ste­hen nur sehr begrenzt Park­flä­chen zur Ver­fü­gung. Bitte nut­zen Sie öffent­li­che Ver­kehrs­mit­tel. Vom Stadt­zen­trum fah­ren die Bus­li­nien 10, 11 und 12 zum Beu­ten­berg Cam­pus.

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HISTORIE

Das JENAer Optik­kol­lo­quium geht auf eine Ver­an­stal­tungs­reihe der Jenaer Zeiss Werke zurück, die 1971 zunächst zur Wei­ter­bil­dung der Mit­ar­bei­ter ins Leben geru­fen wurde. Durch die Gewin­nung hoch­ka­rä­ti­ger Refe­ren­ten ent­wi­ckelte es sich schnell zu einem wich­ti­gen Dis­kus­si­ons­fo­rum der füh­ren­den Optik­ex­per­ten des Lan­des.

Nach 1989 wurde das Kol­lo­quium in Zusam­men­ar­beit mit dem Insti­tut für Ange­wandte Optik der Uni­ver­si­tät Jena, ver­tre­ten durch Prof. Kowar­schik, wei­ter­ge­führt und gewann durch die Betei­li­gung füh­ren­der Wis­sen­schaft­ler und Unter­neh­men und die Koope­ra­tion u.a. mit dem Fraun­ho­fer IOF und dem Leib­niz IPHT wei­ter an Bedeu­tung.

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